Plasma 기초
Plasma 소개/기체 이론 및 충돌 현상
Plasma Physic, Plasma Etcher Source 종류
하전 입자의 운동/Plasma 변수 및 쉬스/기체 방전 및 DC Plasma/RF Plasma
Plasma 에칭 공정 메카니즘
반도체 제조 공정과 에칭 공정/Plasma 발생 원리와 에칭 반응 소개/Plasma의 전기적 특성
Plasma 공정 이슈, Plasma Etcher에 따른 공정 특성
Plasma의 화학 반응/Plasma 에쳐 및 개발 동향/Plasma 에칭 공정 요구 조건
Plasma Simulation(0-D Simulation)
Simulation 이란?/Plasma Simulation/Simple Global Plasma Simulation/K-0D Plasma 소개/ 실습
Plasma Etcher의 RF Source 설계 기술
임피던스와 RF 매칭 기술/플라즈마 소스 디자인 기술/쉴딩,접지 기술
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